涂层名称：氧化物涂层、DLC、TiN等
涂层性能：
氧化物涂层：具有优异的耐离子刻蚀性能，可用于半导体加工时，衬板的防护。
DLC：在3C行业中，DLC涂层除拥有一定的观赏性外，其耐磨耐蚀的性能也能提高产品的使用性能。
TiN：在半导体制造过程中，需要在某些衬底上进一步建立外延层，以便于制造器件。
而TiN具有如下特性：
1）包覆性良好：涂层完全覆盖基座，并具有较高的致密性。否则，在腐蚀性气体环境下，基座容易受到腐蚀。
2）结合强度高：涂层与基座的结合强度高，可以在多次高温低温循环后不易脱落。
3）化学稳定性好：涂层具有良好的化学稳定性，避免在高温和腐蚀性气氛中失效。
