PVD涂层过程_涂层服务_产品中心_真空镀膜设备与纳米涂层方案-PVD-表面处理-广东华升纳米科技股份有限公司-华升纳米官网

Coating Services

涂层服务

华升研发团队已获得知识产权100余项，实现涂层领域的引领创新

PVD涂层过程

PVD硬质涂层是一种微米为单位极薄的保护膜，可改善以下基体材料表面性能的薄膜

硬度

抗氧化性

摩擦系数

断裂韧性

化学稳定性

其他更多应用场景

在切削刀具上覆上几微米的涂层，可让刀具提高切削速度，
大幅度提升生产效率，且延长基材的使用寿命。

涂层表面光滑

化学隔绝性

机械硬度高
耐磨性能好

工具工件之间
的摩擦系数低

耐腐蚀性能好

适用于生物
相容性产品

DLC（类金刚石）是一种含有大量的 SP³ 的亚稳态类金刚石非晶碳膜，高 SP³ 键含量可以带来更高密度、更高硬质，高稳定性、高抗氧化性、低残余应力和较低的热导率。

装载

装载涂层腔室。

抽真空

在沉积PVD涂层时需要高真空，华升涂层系统分两个步骤进行：首先，机械泵将真空腔室压力从1000mbar抽到10-1mbar；接着，涡轮分子泵产生1X10-6mbar的高真空。

加热

加热腔室，常规的工艺温度在<500℃左右。

等离子体刻蚀

华升的涂层系统采用三种不同的刻蚀工艺技术：
1）HUASHENG®（侧向辉光放电）
2）氩气等离子体刻蚀，辉光放电
3）金属离子刻蚀（Ti，Cr）

涂层沉积

使用PVD涂层工艺（电弧、磁控溅射或一体阴极HUASHENG®技术）、PECVD涂层工艺实现涂层沉积。

冷却

冷却涂层腔室

卸载

卸载涂层腔室