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利用阳极层离子源离化含碳气体，沉积a-C:H涂层 |
可沉积DLC、CrN、WC、W-DLC等涂层 |
沉积温度低，最低至100°℃，适用基材范围广 |
表面光滑，不改变产品粗糙度 |
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硬度高、摩擦系数低 |
| 型号 | TLC1500 |
| 涂层材料 | a-C:H |
| 厚度 | 2~4 μm |
| 硬度 | >2000HV |
| 结合力 | 高于HF2 |
| 干摩擦系数 | <0.1 |
| 服役温度 | <300C |
| 沉积温度 | <200C |
| 颜色 | 黑色 |
